采取三角測量法的激光位移傳感器最高線性度可達1um，分辨率更是可達到0.1um的水平。比如ZLDS100類型的傳感器，它可以達到0.01%高分辨率，0.1%高線性度，9.4KHz高響應，適應惡劣環境。2、回波分析法接近傳感器技術和激光器是二十世紀六十年代出現的最重大的科學技術之一。激光技術與應用的迅猛發展，已與多個學科相結合，形成新興的交叉學科，如光電子學、信息、激光光譜學、非線性光學、超快激光學、量子光學、光學、導波光學、激光醫學、激光生物學、激光化學等接近傳感器

待測目標與傳感器的換能器不相垂直的場合。因為超聲波檢測的目標必須處于與傳感器垂直方位偏角不大于10°角以內。需要光束直徑很小的場合。因為一般超聲波束在離開傳感器2m遠時直徑為0.76cm。需要可見光斑進行位置校準的場合。。這些交叉技術與新的學科的出現，大大地推動了傳統產業和新興產業的發展，使得激光器的應用范圍擴展到幾乎國民經濟的所有領域。本文主要介紹激光的原理以及其主要應用領域。長度計量多是利用光波的干涉現象來進行的，其精度主要取決于光的單色性的好壞。激光是最理想的光源，它比以往最好的單色光源(氪-86燈)還純10萬倍。因此激光測長的量程大、精度高。由光學原理可知單色光的最大可測長度L與波長λ和譜線寬度δ之間的關系是L=λ/δ。用氪-86燈可測最大長度為38.5厘米，對于較長物體就需分段測量而使精度降低。若用氦氖氣體激光器，則最大可測幾十公里。一般測量數米之內的長度，其精度可達0.1微米。

接近傳感器激光傳感器是利用激光技術進行的傳感器。它由激光器、激光檢測器和測量電路組成。激光傳感器是新型測量儀表，它的優點是能實現無接觸遠距離測量，速度快，精度高，量程大，抗光、電干擾能力強等。激光與普通光不同，需要用激光器產生。激光器的工作物質，在正常狀態下，多數原子處于穩定的低能級E1，在適當頻率的外界光線的作用下，處于低能級的原子吸收光子能量激發而躍遷到高能級E2傳感器內置溫度監控模塊，高溫自動報警，自動保護。電源帶有保護功能，可自動保護電源接反的情況發生；接反還可以正常工作；具有抗高反光的功能，點學習按鈕，自動的過濾高反光的影響；可以適用于高反光的材料，例如：可測量不銹鋼和鋁型材等。。光子能量E=E2-E1=hv，式中h為普朗克常數，v為光子頻率。反之，在頻率為v的光的誘發下，處于能級E2的原子會躍遷到低能級釋放能量而發光，稱為受激輻射。激光器首先使工作物質的原子反常地多數處于高能級（即粒子數反轉分布），就能使受激輻射過程占優勢，從而使頻率為v的誘發光得到增強，并可通過平行的反射鏡形成雪崩式的放大作用而產生大的受激輻射光，簡稱激光。

接近傳感器①固體激光器：它的工作物質是固體。常用的有紅寶石激光器、摻釹的釔鋁石榴石激光器(即YAG激光器)和釹玻璃激光器等。它們的結構大致相同，特點是小而堅固、功率高，釹玻璃激光器是目前脈沖輸出功率最高的器件，已達到數十兆瓦。②氣體激光器：它的工作物質為氣體。現已有各種氣體原子、離子、金屬蒸氣、氣體分子激光器接近傳感器將測量的組件放在指定位置的輸送帶上，激光傳感器檢測到該組件并與觸發的激光掃描儀同時進行測量，最后得到組件的長度。2、均勻度的檢查在要測量的工件運動的傾斜方向一行放幾個激光傳感器，直接通過一個傳感器進行度量值的輸出，另外也可以用一個軟件計算出度量值，并根據信號或數據讀出結果。。常用的有二氧化碳激光器、氦氖激光器和一氧化碳激光器，其形狀如普通放電管，特點是輸出穩定，單色性好,壽命長,但功率較小，轉換效率較低。③液體激光器:它又可分為螯合物激光器、無機液體激光器和有機染料激光器，其中最重要的是有機染料激光器，它的最大特點是波長連續可調。④半導體激光器：它是較年輕的一種激光器，其中較成熟的是砷化鎵激光器。特點是效率高、體積小、重量輕、結構簡單，適宜于在飛機、軍艦、坦克上以及步兵隨身攜帶。可制成測距儀和瞄準器。但輸出功率較小、定向性較差、受環境溫度影響較大。