盡管激光三角法測量位移相對簡單可靠，但其缺點是測量精度隨著測量距離和范圍的增大而降低，因此測量范圍受到限制。此外，還需要一定的開放空間來滿足三角法的測量需求，故無法實現在深溝或深孔中的應用。而激光回波分析法則適合于長距離檢測，但測量精度相對于激光三角測量法要低。在振動測量應用方面，前面這兩種位移/距離測量技術的檢測能力(頻率范圍/振動量范圍/精度)比較有限。而LDV雖可進行非常精確的振動測量及瞬時位移測量，但是欠缺測量絕對位移或距離的能力，且成本也相當高。

接近傳感器傳感器最大的特點是可以非接觸測量精度高，頻率快激光三射感器原理激光三角反射式測量原理基于簡單的幾何關系。激光二極管發出的激光束被照射到被測物體表面。反射回來的光線通過一組透鏡，投射到感光元件矩陣上，感光元件可以是CCD/CMOS或者是PSD元件接近傳感器

。反射光線的強度取決于被測物體的表面特性。為此，模擬元件PSD的敏感度需要進行調節。而對數字元件CCD傳感器，使用德國米銥提供的實時表面補光技術(RTSC,RealTimeSurfaceCompensation)可以瞬時改變接收光強。接近傳感器利用激光的高方向性、高單色性和高亮度等特點可實現無接觸遠距離測量。激光傳感器常用于長度、距離、、速度、方位等物理量的測量

而在精確的振動測量方面，常用的激光多普勒振動儀(LDV)的工作原理是在光學干涉的基礎上，通過兩束相干光束I1和I2的疊加來進行測量。疊加后的光強不是簡單的兩束光強之和，而且包括一個相干調制項。調制項與兩束光之間的路徑長度有關。，還可用于探傷和大氣污染物的監測等接近傳感器。總之，激光傳感器的應用領域越來越廣泛了，下面介紹兩種激光傳感器主要原理和應用。

接近傳感器器按工作物質可分為4種。體激光器：它的工作物質是固體。常用的有石激光器、摻釹的釔榴石激光器(即YAG激光器)和釹玻璃激光器等。它們的結構大致相同，特點是小而堅固、功率高，釹玻璃激光器是目前脈沖輸出功率最高的器件，已達到數十兆瓦。②氣體激光器：它的工作物質為氣體激光測距傳感器測量原理激光位移傳感器與激光測距傳感器的區別：一：測量原理不同激光位移傳感器用的是激光三角法測量原理；激光測距傳感器用的是激光的飛行時間，計算激光射到被測物表面反射回來的時間來計算距離。二、應用領域不同。現已有各種氣體原子、離子、金屬蒸氣、氣體分子激光器接近傳感器。常用的有二氧化碳激光器、氦氖激光器和一氧化碳激光器，其形狀如普通放電管，特點是輸出穩定，單色性好,壽命長,但功率較小，轉換效率較低。③液體激光器:它又可分為螯合物激光器、無機液體激光器和有機染料激光器，其中最重要的是有機染料激光器，它的最大特點是波長連續可調。④半導體激光器：它是較年輕的一種激光器，其中較成熟的是砷化鎵激光器。特點是效率高、體積小、重量輕、結構簡單，適宜于在飛機、軍艦、坦克上以及步兵隨身攜帶。可制成測距儀和瞄準器。但輸出功率較小、定向性較差、受環境溫度影響較大。