激光式傳感器具有以下優點：結構，原理簡單可靠，抗干擾能力強，適應于各種惡劣的工作環境，分辨率較高（如在測量長度時能達到幾個納米），示值誤差小，穩定性好，宜用于快速測量。什么是激光激光與普通光不同，需要用激光器產生。激光器的工作物質，在正常狀態下，多數原子處于穩定的低能級E1，在適當頻率的外界光線的作用下，處于低能級的原子吸收光子能量激發而躍遷到高能級E2。光子能量E=E2-E1=hv，式中h為普朗克常數，v為光子頻率。反之，在頻率為v的光的誘發下，處于能級E2的原子會躍遷到低能級釋放能量而發光，稱為受激輻射。激光器首先使工作物質的原子反常地多數處于高能級（即粒子數反轉分布),就能使受激輻射過程占優勢，從而使頻率為v的誘發光得到增強，并可通過平行的反射鏡形成雪崩式的放大作用而產生大的受激輻射光，簡稱激光。

電容式接近開關傳感器最大的特點是可以非接觸測量精度高，頻率快激光三射感器原理激光三角反射式測量原理基于簡單的幾何關系。激光二極管發出的激光束被照射到被測物體表面。反射回來的光線通過一組透鏡，投射到感光元件矩陣上，感光元件可以是CCD/CMOS或者是PSD元件電容式接近開關

。反射光線的強度取決于被測物體的表面特性。為此，模擬元件PSD的敏感度需要進行調節。而對數字元件CCD傳感器，使用德國米銥提供的實時表面補光技術(RTSC,RealTimeSurfaceCompensation)可以瞬時改變接收光強。電容式接近開關激光技術和激光器是二十世紀六十年代出現的最重大的科學技術。激光技術與應用的迅猛發展，和多個學科相結合，形成新興的交叉學科電容式接近開關

隨著激光技術的進步，激光傳感器也成為一種新的傳感器類型，它是利用激光技術進行測量的傳感器，由激光器、激光檢測器和測量電路組成。激光傳感器是新型測量儀表，優點是能實現無接觸遠距離測量，具有速度快、精度高、量程大、電干擾能力強等優點，在很多工業領域有著廣泛的應用。。如光電子學、信息光學、激光光譜學、非線性光學、超快激光學、量子光學、光纖光學、導波光學、激光醫學、激光生物學、激光化學等。

電容式接近開關①固體激光器：它的工作物質是固體。常用的有紅寶石激光器、摻釹的釔鋁石榴石激光器(即YAG激光器)和釹玻璃激光器等。它們的結構大致相同，特點是小而堅固、功率高，釹玻璃激光器是目前脈沖輸出功率最高的器件，已達到數十兆瓦。②氣體激光器：它的工作物質為氣體。現已有各種氣體原子、離子、金屬蒸氣、氣體分子激光器電容式接近開關目前光學元器件通常體積大且價格昂貴，并且在與其他電子元器件的連接過程需要定制精確的裝配流程。而光學元件集成化可以使其在低成本的基礎上，實現更復雜的設計和更多的功能。集成光學芯片可以在一個單一的光學基底上包含數十到數百個光學元件，包括激光器、調制器、光電探測器和濾波器，現已成為一種有效的解決方案，為現有和新興市場提供創新的光學模組。隨著現代制造對光學傳感器技術需求的不斷增長，集成光學芯片可以簡化系統設計，使得傳感器可以進行更快速、更準確的測量，而且成本更低。。常用的有二氧化碳激光器、氦氖激光器和一氧化碳激光器，其形狀如普通放電管，特點是輸出穩定，單色性好,壽命長,但功率較小，轉換效率較低。③液體激光器:它又可分為螯合物激光器、無機液體激光器和有機染料激光器，其中最重要的是有機染料激光器，它的最大特點是波長連續可調。④半導體激光器：它是較年輕的一種激光器，其中較成熟的是砷化鎵激光器。特點是效率高、體積小、重量輕、結構簡單，適宜于在飛機、軍艦、坦克上以及步兵隨身攜帶。可制成測距儀和瞄準器。但輸出功率較小、定向性較差、受環境溫度影響較大。