激光回波分析法則用于遠距離測量。下面詳細介紹。激光位移傳感器的激光發射器通過鏡頭將可見紅色激光射向被測物體表面，經物體反射的激光通過接收器鏡頭，被內部的CCD線性相機接收，根據不同的距離，CCD線性相機可以在不同的角度下“看見”這個光點。電容式接近開關原在激光位移傳感器工程當中，激光位射器會將鏡頭發紅色激光射向物體的表面電容式接近開關

Ⅳ電子元件的檢查：用兩個激光掃描儀，將被測元件擺放在兩者之間，最后通過傳感器讀出數據，從而檢測出該元件尺寸的精確度及完整性。Ⅴ尺寸測定：微小零件的位置識別;傳送帶上有無零件的監測;材料重疊和覆蓋的探測;機械手位置(工具中心位置)的控制;器件狀態檢測;器件位置的探測(通過小孔);液位的監測;厚度的測量;振動分析;碰撞試驗測量;汽車相關試驗等。，而物體的表面會出現一系列反射情況，其中一束光芒會一反射的光線回到激光位移傳感器當中，這時候根據光線反射的角度和激光位移傳感器的距離來偵測。激光位移傳感器的應用1、尺寸測定：微小零件的位置識別;傳送帶上有無零件的監測;材料重疊和覆蓋的探測;機械手位置(工具中心位置)的控制;器件狀態檢測;器件位置的探測(通過小孔);液位的監測;厚度的測量;振動分析;碰撞試驗測量;汽車相關試驗等。

電容式接近開關激光技術與應用的迅猛發展，已與多個學科相結合，形成新興的交叉學科，如光電子學、信息光學、激光光譜學、非線性光學、超快激光學、量子光學、光纖光學、導波光學、激光醫學、激光生物學、激光化學等LDS10X激光位移傳感器的精度最高可達0.5um補充一種新型測法：性調頻連續波調制（FMCW）技術結合光學相干接收原理法。基于世界領先的硅基光電集成技術，把相干檢相光路和參考光路集成在微小的芯片里。由于采用相干接收，可在有煙霧、光、粉塵等環境干擾的情況下，仍然能達到很高精度的相位測量。采用非線性調制解調技術，使低成本且精確的光學調制成為可能，通過與精確控制的參考波導光路進行比對，可實現微米級的遠距準確測距。。這些交叉技術與新的學科的出現，大大地推動了傳統產業和新興產業的發展，使得激光器的應用范圍擴展到幾乎國民經濟的所有領域。

電容式接近開關器按工作物質可分為4種。體激光器：它的工作物質是固體。常用的有石激光器、摻釹的釔榴石激光器(即YAG激光器)和釹玻璃激光器等。它們的結構大致相同，特點是小而堅固、功率高，釹玻璃激光器是目前脈沖輸出功率最高的器件，已達到數十兆瓦。②氣體激光器：它的工作物質為氣體激光測振它基于多普勒原理測量物體的振動速度。多普勒原理是指：若波源或接收波的觀察者相對于傳播波的媒質而運動，那么觀察者所測到的頻率不僅取決于波源發出的振動頻率而且還取決于波源或觀察者的運動速度的大小和方向。所測頻率與波源的頻率之差稱為多普勒頻移。在振動方向與方向一致時多普頻移fd=v/λ，式中v為振動速度、λ為波長。在激光多普勒振動速度測量儀中，由于光往返的原因,fd=2v/λ。這種測振儀在測量時由光學部分將物體的振動轉換為相應的多普勒頻移,并由光檢測器將此頻移轉換為電信號,再由電路部分作適當處理后送往多普勒信號處理器將多普勒頻移信號變換為與振動速度相對應的電信號，最后記錄于磁帶。這種測振儀采用波長為6328埃(┱)的氦氖激光器，用聲光調制器進行光頻調制，用石英晶體振蕩器加功率放大電路作為聲光調制器的驅動源，用光電倍增管進行光電檢測，用頻率跟蹤器來處理多普勒信號。它的優點是使用方便，不需要固定參考系,不影響物體本身的振動,測量頻率范圍寬、精度高、動態范圍大。缺點是測量過程受其他雜散光的影響較大。。現已有各種氣體原子、離子、金屬蒸氣、氣體分子激光器電容式接近開關。常用的有二氧化碳激光器、氦氖激光器和一氧化碳激光器，其形狀如普通放電管，特點是輸出穩定，單色性好,壽命長,但功率較小，轉換效率較低。③液體激光器:它又可分為螯合物激光器、無機液體激光器和有機染料激光器，其中最重要的是有機染料激光器，它的最大特點是波長連續可調。④半導體激光器：它是較年輕的一種激光器，其中較成熟的是砷化鎵激光器。特點是效率高、體積小、重量輕、結構簡單，適宜于在飛機、軍艦、坦克上以及步兵隨身攜帶。可制成測距儀和瞄準器。但輸出功率較小、定向性較差、受環境溫度影響較大。