對激光位移傳感器而言，激光三角測量法適用于高精度、短距離的測量，激光回波分析法則用于遠距離測量。在當前的工業機器人應用中，通常采用三角測量法，這種方法最高線性度可達1um，分辨率可達到0.1um的水平。電容式接近開關一、原理光電傳感器是通過把光強度的變化轉換成電信號的變化來實現控制的。激光傳感器先由激光發射二極管對準目標發射激光脈沖電容式接近開關

按照測量原理,激光位移傳感器原理分為激光三角測量法和激光回波分析法,激光三角測量法一般適用于高精度、短距離的測量，而激光回波分析法則用于遠距離測量，下面分別介紹激光位移傳感器原理的兩種測量方式。1、三角測量法。經目標反射后激光向各方向散射。部分散射光返回到傳感器接收器，被光學系統接收后成像到雪崩光電二極管上并將其轉化為相應的電信號。激光位移傳感器能夠利用激光的高方向性、高單色性和高亮度等特點可實現無接觸遠距離測量。激光位移傳感器（磁致伸縮位移傳感器）就是利用激光的這些優點制成的新型測量儀表，它的出現，使位移測量的精度、可靠性得到極大的提高，也為非接觸位移測量提供了有效的測量方法。

電容式接近開關二、光源光電傳感器的光源可見紅光、紅外光，但是激光傳感器利用激光技術進行測量的傳感器。這里的區別就是紅光和紅外光的光斑大同時，光束在接收元件的位置通過模擬和數字電路處理，并通過微處理器分析，計算出相應的輸出值，并在用戶設定的模擬量窗口內，按比例輸出標準數據信號。如果使用開關量輸出，則在設定的窗口內導通，窗口之外截止。另外，模擬量與開關量輸出可設置獨立檢測窗口。，會隨著距離越遠而越大，就不利于檢測小的物體，激光傳感器的光源是激光的，同樣是光源，光源都會隨著距離遠近而改變大小，激光和普通的不同處就是激光的光斑會很小，隨著距離越遠，光斑也會擴大，但是卻是很細微的變化，肉眼是看不出來的，所以人們通常說成了激光的光源不會擴大。

電容式接近開關因此激光測距儀日益受到重視。在激光測距儀基礎上發展起來的激光雷達不僅能測距，而且還可以測目標方位、運運速度和加速度等，已成功地用于人造衛星的測距和跟蹤，例如采用紅寶石激光器的激光雷達，測距范圍為500～2000公里,誤差僅幾米電容式接近開關LDS10X激光位移傳感器的精度最高可達0.5um補充一種新型測法：性調頻連續波調制（FMCW）技術結合光學相干接收原理法。基于世界領先的硅基光電集成技術，把相干檢相光路和參考光路集成在微小的芯片里。由于采用相干接收，可在有煙霧、光、粉塵等環境干擾的情況下，仍然能達到很高精度的相位測量。采用非線性調制解調技術，使低成本且精確的光學調制成為可能，通過與精確控制的參考波導光路進行比對，可實現微米級的遠距準確測距。。不久前，真尚有的研發中心研制出的LDM系列測距傳感器，可以在數千米測量范圍內的精度可以達到微米級別。常采用紅寶石激光器、釹玻璃激光器、二氧化碳激光器以及砷化鎵激光器作為激光測距儀的光源。